项 目

 指标

 氯 ( Cl2)气的体积分数 

 ≤99.996×10^-6

 氧( O2)的体积分数

 ≤4×10^-6

 氮( N2)的体积分数

 ≤20×10^-6

 一氧化碳( CO)的体积分数 

 ≤1×10^-6

 二氧化碳 ( CO2)的体积分数

 ≤10×10^-6

 烃( C1-C2)的体积分数

 ≤1×10^-6

 水( H2O)的体积分数  

 ≤3×10^-6

GB/T 18994-2003; 电子工业用气体 高纯氯