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氬氣(Ar Argon ) CAS:7440-37-1
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項目
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指標純度%
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氬氣(Ar)
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99.999
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99.9995
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99.9997
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99.9999
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雜質含量(ppm)
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氮(N2)
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≤5
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≤5
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≤3
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≤0.4
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氧(O2)
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≤2
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≤0.5
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≤0.5
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≤0.2
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氫(H2)
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≤1
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-
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-
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-
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一氧化碳(CO)
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-
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≤1
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≤0.5
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≤0.1
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二氧化碳(CO2)
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-
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≤1
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≤0.5
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≤0.1
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水份 (H2O)
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≤4
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≤0.5
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≤0.5
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≤0.2
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總烴類THC
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≤2
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≤0.3
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≤0.2
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≤0.1
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包 裝：通常采用40升鋼瓶(12～15MPa)，也可根據客戶需要，分裝到2～10升的氣瓶(10MPa)中。包 裝：
主要用途：
用于焊接、不銹鋼制造、冶煉，還用于半導體制造工藝中的化學氣相淀積、晶體生長、熱氧化、外延、擴散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、燒結等。用作標準氣、平衡氣、零點氣等。
理化性質：
| 分子量：39.948 |
熔點：-189.2℃ |
| 沸點(101.325kPa)：-185.9℃ |
液體密度(83.78K，68.749kPa)：1416.6kg/m3 |
| 氣體密度(0℃，101.325kPa)：1.7841kg/m3 |
相對密度(0℃，101.325kPa，空氣=1)：1.380 |
| 比容(21.1℃，101.325kPa)：0.6037m3/kg |
臨界溫度：-122.4℃ |
| 臨界壓力：4864kPa |
臨界密度：530.7kg/m3 |
| 熔化熱(-189.37℃，68.7kPa)：29.43kJ/kg |
汽化熱(-185.86℃,101.325kPa)：160.81kJ/kg |
| 比熱容(101.325kPa，270K)：Cp=519.16J/(kg·K) |
Cv=309.82J/(kg·K) |
| 比熱比(25℃，101.325kPa，氣體)：Cp/Cv=1.669 |
粘度(101.325kPa,0℃)：0.02083mPa·s |
| 蒸汽壓(-191.885℃)：53.33kPa (-181.301℃)：159.99kPa (-178.880℃)：199.98kPa |
| 表面張力(84K)：11.46mN/m |
導熱系數(101.325kPa，270K)：0.01620W/(m·K) |
化學品安全技術說明書(MSDS)下載：  氬氣 | 
