六氟化硫氣體以其高耐電強度及良好的熱穩定性能，被廣泛應用于高壓電氣設備中。六氟化硫氣體的化學性質極為穩定。純凈的六氟化硫氣體是無毒的，但在大電流開斷時，由于強烈的電弧放電會產生一些含硫的低氟化物。這些物質反應能力較強，當有水和氧氣時又會與電極材料、水份進一步反應，從而分解產生有毒或劇毒氣體。這些有毒氣體主要損害人體的呼吸系統，中毒后會出現類似于感冒、皮膚過敏、惡心嘔吐、疲勞等不良反應，吸入劑量大時，會出現更加嚴重的后果。因此，在對六氟化硫設備檢修和試驗時，應采取以下防護措施：
(1)工作現場應強力通風，檢修人員應在上風位置；
(2)配戴好防毒面具和防護手套；
(3)將排出的氣體進行回收、或用導管將氣體排入下水溝內，不宜直接向大氣排放；
(4)工間休息前或工作結束后，臉、頸、臂和手要用肥皂和大量的水徹底洗凈；
(5)如不慎接觸到劑量較大的氣體時，應立即洗凈，更換衣服，及時去醫院觀察治療。
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